층류 방식 ultraclean®

층류 방식 ultraclean®

층류 방식 ultraclean® 시스템은 수직 방향의 낮은 난류를 이용해 작동하며, ISO 14644-1에 따라 작업 구역 내에서 사용할 경우 순도 5등급의 요건을 만족시킵니다. 클린룸 장치 아래에 영구적인 과압이 작용하여 각종 미립자들이 충전 또는 작업 구역에 혼입되는 것을 방지합니다.

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