Cryo-Prozesskammer für die Chipindustrie

Mit der Cryo-Prozesskammer für die Chipindustrie - Präzise Temperaturen und Reinraumfähigkeit.

Die neu entwickelte Prozesskammer ist komplett in Edelstahl ausgeführt und somit reinraumfähig. Die automatische Tür ermöglicht eine effiziente Beladung und Entladung der Anlage. Eine Anbindung an Manufacturing Execution Systems (SECS/GEM) sowie an Overhead Hoist Transfer Systeme ist gegeben. Die Chargenerkennung erfolgt über QR-Codes, was eine nahtlose Integration in bestehende Produktionsprozesse ermöglicht.

Weitere Anwendungsbeispiele zur Wärmebehandlung für die Halbleiterindustrie finden Sie hier: Ofensysteme für die Halbleiterproduktion | Weiss Technik – vötschoven

Unsere Highlights:

• Aufstellung im Reinraum (außen, wie innen); Klasse ISO 5
• -75°C erreichbar
• Anbindung an Manufacturing Execution System (SECS/GEM)
• Anbindung an Overhead Hoist Transfer System (automatische Tür)
• Chargenerkennung über QR-Code

Enthalten in der Grundausstattung:

• Stickstoffspülung zur Erzeugung einer inerten Atmosphäre 
• Sauerstoffmesseinrichtung 
• Automatisch öffnende Tür 
• Hepa Filterung der Zuluft 
• Stetiger Unterdruck im Maschinenteil zur Vermeidung von Partikelemissione