cámara criogénica de proceso para la industria de los chips

Con el cámara criogénica de proceso para la industria de los chips - Temperaturas precisas y  capacidad de sala blanca.

La cámara de proceso de nuevo desarrollo está completamente realizada en acero inoxidable y, por tanto, es apta para sala blanca. La puerta automática permite cargar y descargar de manera eficiente el sistema. Existe una conexión con los Manufacturing Execution Systems (SECS/GEM) y con los sistemas Overhead Hoist Transfer . La detección de lotes se realiza mediante códigos QR, lo que permite una integración perfecta en procesos de producción existentes.

Aquí encontrará más ejemplos de aplicaciones del tratamiento térmico para la industria de los semiconductores: Sistemas de horno para la producción de semiconductores | Weiss Technik – vötschoven

Nuestros puntos destacados:

• Instalación en sala blanca (exterior, interior); clase ISO 5
• Se pueden alcanzar -75 °C
• Conexión a Manufacturing Execution System (SECS/GEM)
• Conexión a Overhead Hoist Transfer System (puerta automática)
• Detección de lotes mediante código QR

Incluido en el equipamiento básico:

• Barrido con nitrógeno para generar una atmósfera inerte 
• Dispositivo medidor de oxigeno 
• Puerta de apertura automática 
• Filtrado HEPA del aire de entrada 
• Infrapresión constante en la parte mecánica para evitar la emisión de partículas