Micro-Electronics

Höchste Reinheit für kontaminationsfreie Chip-Produktion

Der Bedarf an immer mehr, immer kompakteren und immer leistungsfähigeren Mikrochips wächst kontinuierlich. Damit steigen auch die Anforderungen an die Prozessbedingungen und die Luftreinheit. Die Produktion von Mikrochips und anderen elektronischen Bauteilen ist technisch aufwändig und äußerst kostenintensiv. Um die Kosten pro Bauteil zu minimieren, ist es wichtig, alle Einzelprozesse optimal aufeinander abzustimmen und die Ausschussquote zu minimieren. Dabei leisten reine und hochreine Prozessbedingungen einen entscheidenden Beitrag. Als einer der Innovations- und Qualitätsführer im Bereich Contamination Control und Reinraumtechnik bieten wir erprobte Komponenten und wirtschaftliche Komplett-Lösungen. 

Spezifische Anforderungen

Voraussetzungen für sichere, reproduzierbare Prozessbedingungen

Die Halbleiterproduktion findet in mehreren 100 Herstellungsschritten statt, beginnend mit dem Frontend (unter anderem Lithografie, Ätzen, Beschichten) bis hin zum Backend und Packaging. Diese finden durchgängig unter Reinraumbedingungen statt, erfordern jedoch unterschiedliche Reinraumklassen. Damit die elektrischen Schaltkreise dauerhaft fehlerfrei arbeiten, muss bereits bei der Herstellung der hochreinen Silizium-Wafer und der benötigten Prozesschemikalien auf die Einhaltung der geforderten Reinheit und Prozessbedingungen geachtet werden. Dadurch wird die Produktion zuverlässig vor luftgetragenen Partikeln und molekularen Kontaminationen geschützt. Je nach Prozessschritt und Anforderungen werden Reinraumbedingungen von Reinraumklasse ISO 1 bis ISO 8 benötigt.

So aufwändig wie die Fertigung von Chips, so anspruchsvoll sind die vielfältigen Stationen der Qualitätssicherung nach jedem kritischen Prozessschritt. Die Messungen im Nanometerbereich erfordern reine Messräume mit konstanten und sicher reproduzierbaren Klimabedingungen. Nach jedem kritischen Produktionsschritt und nach der Fertigstellung werden die Chips in Testräumen geprüft. Hierzu sind Reinraumbedingungen mit reproduzierbaren Temperaturen und Luftfeuchten für alle Reinraumklassen erforderlich.

Die Miniaturisierung der Chips stößt mittlerweile an ihre physikalischen Grenzen. Deshalb wird in der Forschung und Entwicklung nach immer neuen Fertigungsmethoden gesucht, um Chips noch kleiner und leistungsfähiger zu machen. Auch bei dieser Grundlagenarbeit gehören reine Bedingungen zu den zentralen Voraussetzungen für den Erfolg. Um neue Verfahren in der Chip-Herstellung zu entwickeln, benötigen Labore kleinere und flexiblere Reinraum- und Messraumlösungen von Reinraumklasse ISO 1 bis ISO 8 und höher.


Lösungen

Rundum in kompetenten Händen

Unser umfassendes Portfolio bietet für nahezu alle Prozessschritte und Fertigungsanforderungen zukunftssichere Lösungen und Komponenten. Bei Bedarf entwickeln wir kundenindividuelle Lösungen für besondere Anforderungen und spezielle Prozesse.

Reinräume

Unsere schlüsselfertigen Reinraumlösungen bis Reinraumklasse ISO 5 und besser gewährleisten besonders reine, partikelarme Luftbedingungen und exakt die klimatischen Bedingungen, die Sie für die Chip-Fertigung benötigen.

Messräume

Unsere schlüsselfertigen Messräume schaffen extrem konstante und exakt definierte Messbedingungen für die Chip-Produktion. Alle Parameter wie Temperatur und Luftfeuchte können prozessgerecht kontrolliert und geregelt werden.

Prozessklima-Systeme

Unsere Systemlösungen für das Prozessklima stellen zu jeder Zeit sicher, dass alle Klimabedingungen konstant und höchst präzise erfüllt werden und Ihre Prozesse optimal ablaufen können.

Sonderlösungen

Wir planen und realisieren für Sie auch alle weiteren individuellen Reinraum- und Klimatisierungslösungen, bedarfsgerecht und professionell aus einer Hand.


Unsere Dienstleistungen

Beratung, Planung, Umsetzung und Service - Alles aus einer Hand

Mit unseren flexiblen Leistungsbausteinen profitieren Sie von unserem umfassenden Know-how. Immer dann, wenn Sie es brauchen, und immer genau so, wie Sie dieses benötigen: in einzelnen Projektschritten, mit Komponenten oder mit uns als Generalunternehmer.

 

Beratung und Planung

Unsere Planungsabteilung berät Sie umfassend zu technischen Möglichkeiten, Prozessanforderungen und normativen Vorgaben. Bei der Planung orientieren wir uns an der HOAI (Honorarordnung für Architekten und Ingenieure) und unterstützen Sie in allen Planungsphasen: Grundlagenermittlung, Wirtschaftlichkeitsberechnung, Vorplanung, Machbarkeitsstudie, Masterplan, Entwurfsplanung und Ausführungsplanung.

Konstruktion und Ausführung

Bei der Konstruktion nutzen wir unser Produktportfolio, das höchste klimatechnische Anforderungen erfüllt. Selbstverständlich können wir für Sie projektspezifisch auch bestehende Anlagenteile oder Komponenten anderer Hersteller integrieren und alle Komponenten und Schnittstellen aufeinander abstimmen.

Agiles Projektmanagement

Dank erprobter Engineering- und Entwicklungsprozesse sichern wir für Sie die reibungslose Ermittlung und Umsetzung aller Anforderungen. Dabei arbeiten wir mit agilen Projektmanagementmethoden und ausgewählten Datenverarbeitungssystemen wie 3D, CAD, BIM und Simulationen.

Montageservice und Inbetriebnahme

Wir sind auch im Service für Sie äußerst effizient. So sichern wir den schnellen und fachgerechten Aufbau und die erfolgreiche Inbetriebnahme der Anlagen. Alle Service-Mitarbeiter sind hervorragend ausgebildet und durch regelmäßige Schulungen immer auf einem aktuellen technischen Wissensstand.

Aftersales-Service international

Wir bieten für unsere Anlagen schnellen und kompetenten Service über den gesamten Lebenszyklus hinweg. Dabei profitieren Sie von unserem großen Ersatzteillager und hervorragend ausgebildeten Service-Spezialisten. Wir warten und reparieren Anlagen vor Ort oder per Fernwartung. Darüber hinaus modernisieren wir Ihre Systeme und bieten Trainings sowie Schulungen für unsere Kunden an.


Unsere Produkte

Komplett-Lösungen und Einzelkomponenten

Mit unseren hochwertigen Komponenten statten wir Bereiche mit besonderen Klimaanforderungen aus. Dazu gehören beispielsweise Forschungslabore und Teilbereiche von Chip-Fertigungshallen. Neben Basiskomponenten bieten wir darüber hinaus auch individuelle Sonderlösungen an:

 

  • Filter Fan Units (FFUs)

Für Reinraumkabinen, Reinräume und Mini-Environments, mit Bedieneinheiten und Sensoren für die Parameterkontrolle

  • Werkbänke und Laminar-Flow-Einheiten

Für die sichere Contamination Control an Reinraum-Arbeitsplätzen

  • Mini-Environments

Einhausungen für Roboter und Maschinen mit Reinraumklasse ISO 1 und besser

  • Klima- und Kältetechnik

Effiziente Kompakt-Klimaschränke und -systeme in Standard und hoch spezialisierten Sonderausführungen

  • Adsorptionstrockner

Energieeffiziente Systeme für kontrolliert niedrige Luftfeuchten, zum Beispiel bei Lithografieprozessen in der Chip-Fertigung

  • Reinraumkabinen

Kleine, flexible Reinraumlösungen für die Produktion

  • Wand-, Decken- und Bodensysteme, Beleuchtung und Medienversorgung

Hochwertige Bauteile aus reinraumgerechten Materialen

  • Personen- und Materialschleusen

Für den kontaminationsfreien Transfer von Personal und Produkten zwischen Reinraumbereichen

  • Monitoring-Systeme

Innovative Systeme zur Überwachung und Dokumentation aller für den Reinraumbetrieb kritischen Parameter


undefined